金融界2025年3月24日消息,国家知识产权局信息显示,合肥华杨科学仪器有限公司申请一项名为“分子束外延设备的自动化控制系统”的专利,公开号 CN 119663432 A,申请日期为2024年12月自动化控制设备。
专利摘要显示,本发明公开了分子束外延设备的自动化控制系统,涉及薄膜制备技术领域自动化控制设备。包括主单片机,所述主单片机分别显示器、生长室单元、预处理单元和快速进样室电性连接。本发明时刻采集真空计读数、循环水温度和流速作为反馈设立自锁机制实现异常时终止薄膜的自动生长,同时在真空异常时关闭外延生长室的分子泵气动阀和离子泵电源、激光挡板、激光靶台电源和蒸发源电源等,在循环水温度和流速异常时关闭涉及到使用循环水的激光靶台电源和蒸发源电源等,实时各个监控关键参数,有效对薄膜生长的效率和质量进行控制,自动化控制程度高。
天眼查资料显示,合肥华杨科学仪器有限公司,成立于2023年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业自动化控制设备。企业注册资本1203.7025万人民币,实缴资本92.5925万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥华杨科学仪器有限公司参与招投标项目4次,专利信息13条,此外企业还拥有行政许可1个。
来源:金融界